影響真空蒸發(fā)鍍膜厚度的因素
一般來(lái)說(shuō)蒸發(fā)真空鍍膜就是將靶材在真空的環(huán)境下加以高溫,使其以原子團(tuán)或者離子的形式被蒸發(fā)出來(lái),然后在將基片防于真空倉(cāng)中讓這些原子團(tuán)或離子沉淀在基片之上,在沉淀的過(guò)程中我們還能通過(guò)我們的需要來(lái)改變靶材的沉淀情況。
? ? ? ?光密度在線測(cè)試儀能在真空鍍膜生產(chǎn)的過(guò)程中進(jìn)行鍍膜厚均勻性的監(jiān)測(cè);選擇真空鍍膜就是想要在基片上均勻的鍍上膜,靶材厚度的均勻性就決定了鍍膜的品質(zhì),鍍膜生產(chǎn)過(guò)程中我們可以使用光密度在線測(cè)試儀來(lái)進(jìn)行測(cè)試。
那么具體影響基片上的靶材厚度是否均勻的因素有哪些呢?
? ? ? ?首先對(duì)基片上的膜厚度就算是同一種物質(zhì)都會(huì)出現(xiàn)分子結(jié)構(gòu)不同的情況,而真空鍍膜簡(jiǎn)單說(shuō)來(lái)就是在一種物質(zhì)覆蓋另一種物質(zhì),如果這兩種物質(zhì)的分子結(jié)合能夠很好的鑲嵌在一起,那么對(duì)真空鍍膜情況肯定是有很大好處的,反之亦然。
? ? ? ?然后基片表面的溫度也是會(huì)影響真空鍍膜厚度是否均勻的;基片的溫度越高則鍍膜效果越好,當(dāng)然在真空鍍膜的時(shí)候也會(huì)純?cè)谝恍┨厥獾牟牧?,它們的鍍膜情況則是基片溫度越低鍍膜效果會(huì)更好。
? ? ? ?另外,真空鍍膜機(jī)的蒸發(fā)功率和速率也是影響真空鍍膜情況一個(gè)較大的因素,這個(gè)因素想要改變的話只能在真空鍍膜機(jī)上改善,因此想要通過(guò)加大真空鍍膜設(shè)備的蒸發(fā)功率來(lái)改變鍍膜情況是比較困難的。
? ? ? ?最后真空鍍膜的時(shí)間和所需鍍膜的厚度也是會(huì)影響到鍍膜是的均勻行的一個(gè)因素。所以最有效的辦法還是通過(guò)目前專業(yè)的光密度在線測(cè)試儀來(lái)連續(xù)測(cè)試鍍膜厚度的均勻性是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。
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